残余气体分析仪

常用残余气体分析仪

	规格	技术参数	用途
有机气体残余气体检测仪	HBD5Gas2290	55ppb-	普适型。便携式残余气体浓度检测,一般适合置换系统常压检测，或真空系统在真空泵出口检测。
有机气体残余气体浓度计	TBD5Gas2290	55ppb-	普适型。残余气体浓度连续监测,一般适合置换系统常压检测，或真空系统在真空泵出口检测。
有机气体残余气体在线监测系统	CGA2290	55ppb-	普适型。残余气体浓度连续监测，一般适合置换系统常压检测，或真空系统在真空泵出口检测。
在线气体浓度计	TCD2220	0.01-100%	普适型。残余气体浓度连续分析。热导率气体分析仪主要用于二元气体或准二元混合气体的相对浓度。对氢气或氦气有较高的选择性。可在低真空系统直接安装。	残余气体分析仪
四极质谱仪	QMS2740	CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb	用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测极限。主要用于氮气、氢气等光学惰性双原子气体。
微量气体检测系统	LGA4812-39370	ppm~%	普适型。可用于对紫外有吸收的各种残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。
微量气体检测系统	LGA4812-6060	ppm~%	普适型。可用于各种有机碳氢化合物残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。
微量气体检测系统	LGA4821	ppm~%	选择性监测。可用于特定残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。
微量气体检测系统	PGA4160	ppm~%	选择性监测。可用于特定残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。